微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 刘丹 赵亚欣 闫竹青 张志东 崔娟 郑永秋 薛晨阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年5期
    页码:  426-432,445
    摘要: 采用真空辅助过滤法在尼龙膜上制备了基于化学模板法的Ag2Se纳米棒柔性热电薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和Seebeck系数测试仪等对添加聚乙烯吡咯烷酮(PVP)...
  • 作者: 王卓然 王晓雨 王博 王艳芳 侯中宇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年5期
    页码:  433-438,451
    摘要: 基于激光刻蚀加工技术设计并制备了新型蛇形沟道布局微型色谱柱芯片,采用硅材料衬底刻蚀加工,设计并制备了不同沟道布局的微型色谱柱,并对混合组分进行分离分析.选取成本较低、加工周期较短的紫外激光刻...
  • 作者: 刘磊 王帆 喻磊 周魁 许磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年5期
    页码:  439-445
    摘要: 采用倾斜溅射工艺制备了一种Cr/Ti/Ni三层金属吸气剂薄膜,其中Ti薄膜作为主吸气层,Cr薄膜为沉积在Ti下方的阻挡层,Ni薄膜为覆盖在Ti上方的保护层.在350℃高温激活后,吸气剂初始吸...
  • 作者: 薛宏伟 袁肇耿 吴会旺 杨龙
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年5期
    页码:  446-451
    摘要: 采用化学气相沉积法在6英寸(1英寸= 2.54 cm)4°偏角4H-SiC衬底上进行快速同质外延生长,通过研究Si/H2比(所用气源摩尔比)与生长速率的相互关系,使4H-SiC同质外延层生长...
  • 作者: 徐世海 边子夫 高飞 张丽 程红娟 王健 李晖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年5期
    页码:  452-457
    摘要: 研究了化学机械抛光(CMP)后AlN单晶片的清洗.将除蜡剂清洗法、RCA清洗法、食人鱼溶液清洗法以及丙酮和异丙醇(IPA)的混合溶液清洗法等进行组合,对抛光后的AlN单晶片表面进行超声清洗,...
  • 作者: 罡一帆 王忆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  459-468
    摘要: 白光有机电致发光器件(OLED)在实际应用中根据不同的应用场景而有不同的色温要求.该白光OLED具有串联混合结构,包括荧光蓝光发射单元和以Pt磷光材料为客体的黄光发光单元.利用串联器件中存在...
  • 作者: 罗小虎 张杰 余小霞 甄德帅 柏任流 吴大旺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  469-475,483
    摘要: 以金属有机框架化合物(ZIF-67)为前驱体,采用简单的磷化法,成功制备出氮掺杂碳包裹CoP和CoO纳米颗粒的碳基复合催化剂(CoP/CoO@NC).采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微...
  • 作者: 徐世伟 夏童 李刚 赵洋 胡南滔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  476-483
    摘要: 利用微波辅助刻蚀法制备了多孔石墨烯筛(MHGO),然后通过简单的高温固相法合成了具有MHGO镶嵌的钛酸锂-多孔石墨烯筛(LTO-MHGO)复合材料.采用X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱...
  • 作者: 程余磊 孙明轩 孙善富 孟祥龙 彭海洋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  484-488,557
    摘要: 以三聚氰胺、硝酸铈和硝酸银为原料,通过一步原位固相煅烧法制备了Ag/CeO2/g-C3N4复合光催化剂材料.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)...
  • 作者: 李永伟 梁庭 雷程 李强 李志强 熊继军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  489-495,538
    摘要: p型4H-SiC相较n型4H-SiC具有更高的压阻效应,p型4H-SiC正方形膜片作为弹性元件相较圆形膜片具有更高的灵敏度.基于此,设计了一种基于p型4H-SiC压阻效应的高灵敏度碳化硅压力...
  • 作者: 吁子贤 林树靖 王菲 张笛 陈迪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  496-500,544
    摘要: 胃癌细胞源外泌体作为生物标志物在胃癌早期检测中有着极大的应用潜力.但外泌体分离难度大,这一问题极大地限制了外泌体的临床应用.为应对这一挑战,设计并制备了一款外泌体磁分离微流控芯片.通过有限元...
  • 作者: 王金毅 胡本慧 周宇轩 尹思梦 吴昊 任雪洋 唐文杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  501-508
    摘要: 柔性传感器是柔性电子器件中关键的一种器件,柔性电子的快速发展对传感器的线性度、灵敏度和响应时间等性能提出了更高的要求.基于此,通过咖啡环效应在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上沉积碳纳米管(CNT...
  • 作者: 仲逸飞 林祖德 刘景全
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  509-514
    摘要: 碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响.设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果...
  • 作者: 邱霁玄 王佩英 王欢 张成功 李以贵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  515-521,530
    摘要: 压阻式力传感器常被用作工业机器人手指接触力传感器,为准确测量微小力与力矩,设计并测试了一种用于六自由度微力测量的微压阻式力传感器.该传感器由传力支柱、软半球盖、力-力矩传感结构和Wheats...
  • 作者: 王哲 严晨欢 曲艺鸿 王连卫 熊大元 徐少辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  522-530
    摘要: 为了高效、稳定地电化学还原二氧化碳(CO2)为多碳产物,制备了由纳米铜(Cu)原子包覆多孔石墨纤维组成的亚单层Cu金属催化剂.催化结果表明,亚单层Cu原子修饰的多孔石墨纤维在-0.8V的小过...
  • 作者: 翟艳玉 孙钦军 李丽娟 郝玉英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  531-538
    摘要: 通过真空蒸镀技术、静电纺丝技术和湿法腐蚀法成功制备出铜纳米线网络透明电极.首先优化纺丝条件,制备出均匀的聚丙烯腈(PAN)纳米纤维,然后将PAN纳米纤维作为掩模腐蚀铜膜得到铜纳米线网络透明电...
  • 作者: 张丽佛 刘翠荣 阴旭 赵为刚 徐大伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  539-544
    摘要: 聚氧化乙烯-高氯酸锂(PEO-LiClO4)与Al的阳极键合工艺中,因键合温度较高,容易引起两者热膨胀系数不匹配、产生残余应力问题.针对这些问题,利用自主搭建的超声辅助阳极键合系统进行工艺实...
  • 作者: 金晨 许军 王慧云 董诚 王旭东 马宗敏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年6期
    页码:  545-557
    摘要: 开尔文探针力显微镜(KPFM)不仅能够表征多种平整材料的表面形貌,还能对材料表面电势进行纳米级的成像.简单介绍了KPFM的基本工作原理与接触电势差(CPD)的概念,并介绍了幅度调制模式KPF...
  • 作者: 白成 耿达 周伟 陈松月
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  559-570
    摘要: 对电阻型柔性压力传感器的材料、制备和应用场景进行了简单阐述,重点介绍了通过引入微结构提升电阻型压力传感器性能的设计理念,分别评述了国内外研究中,天然表面微结构、仿生微结构和多孔结构对器件压阻...
  • 作者: 张兵 周秧 庞宁 童新 熊大元 徐少辉 王连卫
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  571-577,632
    摘要: 通过一种自下而上的高温裂解方法制成一种碳点(CD),并在此基础上以碳布(CC)为衬底合成了碳点修饰的二氧化锰(CD/MnO2)复合电极.对合成的CD/MnO2/CC进行表征分析,发现生成的C...
  • 作者: 侯伟 王俊和 程永强 禚凯 李艳萍
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  578-583,645
    摘要: NiO是检测甲醛(HCHO)的重要半导体材料.为了提高NiO的导电性和对甲醛检测的灵敏度,采用静电纺丝工艺制备NiO纳米纤维(NF)和SnO2/NiO NF.利用场发射扫描电子显微镜(FES...
  • 作者: 陈熙 林佳 刘晓霖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  584-590,597
    摘要: 对全无机CsPbI3钙钛矿材料在光伏电池、发光二极管等光电器件领域的优势以及目前室温下钙钛矿相CsPbI3存在的相不稳定性问题进行了简单的阐述,重点从相不稳定的原理性分析和外部影响因素入手,...
  • 作者: 张宁 石树正 薛峰 何剑 丑修建
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  591-597
    摘要: 摩擦纳米发电机(TENG)由于其超高电压特性而备受关注.为了进一步提升TENG的输出性能,受益于对自然界闪电击穿空气产生巨大能量的观察,引入对称针尖结构.利用TENG产生的高压来击穿对称针尖...
  • 作者: 刘广林 郭明宇 李泽 徐进良 张伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  598-603
    摘要: 实验研究了无水乙醇工质在水力直径为500μm凹型分段梯形微通道内流动沸腾压降及波动性规律,工质质量流量分别为4 200和5 200 kg/(m2·s),热源加热功率为160~280 kW/m...
  • 作者: 唐嫒尧 李明虓 程洁 黄成军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  604-611,626
    摘要: 通过Au—S键的自组装作用,制备了不同功能单体修饰的金纳米颗粒(AuNP),采用扫描电子显微镜(SEM)对制备材料的微观形貌进行了表征,并使用滴铸法制成了电阻式气体传感器,对其气敏性能进行了...
  • 作者: 索文宇 任勇峰 吴敏 吴子君 何常德
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  612-620
    摘要: 随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,电容式微机械超声换能器(CMUT)以其良好的特性在超声成像领域获得越来越多的关注,为了验证不同结构的CMUT线阵对超声成像分辨率的影响,提出一种CM...
  • 作者: 李以贵 金敏慧 王佩英 邱霁玄 张成功
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  621-626
    摘要: 针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大量程柔性微电子机械系统(MEMS)热式风速传感器.该传感器选用...
  • 作者: 解涛 杨志 王文军 吴宇 刘涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  627-632
    摘要: 随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求.研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉...
  • 作者: 孔国龙 董燕茹 张渝 马磊 汪越 唐根 庞爱民 魏良明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  633-640,658
    摘要: 硅基锂离子电池在充放电过程中存在巨大的体积效应,有效抑制硅体积的膨胀以及降低硅的成本是推进硅基锂离子电池商业化应用的关键因素.以低成本的商业用微米硅、空间占位材料Al和沥青为原料,通过常温搅...
  • 作者: 柴笑晗 王军旗 傅月平 牛刘敏 郑斗斗 袁华 马宗敏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2021年7期
    页码:  641-645
    摘要: 基于金刚石系综氮空位(NV)色心量子传感技术,搭建了高精度量子传感温度测量实验平台,探究了金刚石NV色心温度传感特性.通过测试不同温度下的光探测磁共振(ODMR)信号,验证了 NV色心的零场...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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