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微细加工技术2003年第2期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战，揭示下一代光刻设备的发展潜力，结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点，预言将来以极紫外光...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 随着微电子技术的发展，某些特殊器件如集成光栅的生产，需要进行圆弧图形的曝光。在Bresenham算法的基础上，提出了一种圆生成算法及填充策略。该方法通过设置决策函数和迭代增量，判断最接近圆函...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案，该方案以DSP处理器为核心，通过USB接口与上位机通讯，具有标记检测和曝光扫描两项基本功能，同时增加了圆形和圆环图形的处理功能。通过将现有图...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍了V＋C双重离子注入钢的合成纳米结构、相变和抗磨损机制。研究表明，V＋C离子注入可使H13钢表面的硬度提高70％，摩擦系数下降52％，适合于工业应用。探索了改善H13钢表面摩擦学特性的新...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)刻蚀设备的结构和刻蚀机理，报道了ICP刻蚀硅、二氧化硅和Ⅲ-V族材料的一些最新进展，重点介绍ICP刻蚀技术在光电子器件...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念，例如分辨率、集深等，详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差异，进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： X射线光刻掩模是下一代光刻技术(NGL)中的X射线光刻技术的关键技术难点。在电子束直写后的掩模后烘过程中，掩模表面的温度场分布及温升的均匀性是影响掩模关键尺寸(CD)控制的重要因素，如果控制...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 利用磁控溅射设备和光刻技术，采用金属等离子体氧化法，设计制作了10μm×15μm的Co／Al2O3／FeNi磁隧道结，并在77K下对其输运特性进行了研究。测得了11％的隧道磁电阻。随着外加电...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 在接近式光刻中，衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。一般的模拟分析中，都是利用菲涅尔近似模型进行分析。根据光的标量衍射理论，分析了菲涅尔近似模拟的误差起源，并对菲涅耳近...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 采用射频磁控共溅射方法制备了纳米Ge颗粒镶嵌于SiO2中的复合薄膜(Ge-SiO2)，结合样品结构对光吸收特性进行深入的研究。研究发现该类样品存在较强的光吸收，并且光吸收边随Ge颗粒尺寸变小...
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11. PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 铁硼永磁薄片以及下部的平面线圈。与硅膜相比，这种泵膜材料使用寿命长，物理化学性质稳定，光学特性和机械特性优良。下部的通电线圈与固连在泵膜上的钕铁硼相互作用，从而引起泵腔体积的变化，进而控制微...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统，通过单独控制一个加工条件而固定其它条件的方法，对...
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13. 基于微机械工艺的平面微电机的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转予对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定予为平面线圈，是采用硅...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性，适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm<100>硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层，通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 采用分子动力学三维模型研究单晶硅纳米切削机理，工件原子间相互作用力和工件与刀具原子间相互作用力分别采用Tersoff势和Morse势计算。通过切削过程中瞬间原子图像、能量和切削力的分析，发现...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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