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微细加工技术2004年第1期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 重点介绍了目前国内外各种MEMS微推进系统的研究现状和不同微推进系统的技术特点,阐述了基于MEMS技术的微推进系统基本特征,并分析了MEMS微推进系统的发展趋势和面临的挑战.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEM...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 提出了基于电子束的LIGA(Líthographíe,Galvanoformung,Abformung)技术新概念.根据Grune公式就电子束能量对抗蚀剂刻蚀深度的影响进行了理论分析,并在S...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 基于纳米曝光要求和JSM-35CF型扫描电镜,设计了一组上下偏转器长度不一致的静电偏转器,使偏转灵敏度大大提高.采用二阶有限元法计算了八极静电偏转器的轴上场分布.高精度的场分布有利于高级像差...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能.光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一.主要介绍...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及具体的加工过程进行了...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 通过对SU-8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU-8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU-8胶微结构的影响,结果表明穿透深度大的近紫外波段曝光出来的图形质量好...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180 nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜.厚约50 nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 用离子束增强沉积制备高性能VO2薄膜,在溅射V2O5粉末靶的同时,用氩、氢混合束对沉积膜作高剂量离子注入,然后经500℃以上的退火,获得热电阻温度系数(TCR)高达4%的VO2薄膜.成膜机理...
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10. 集成微热沉系统的设计和制作刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 研究了将冷却微通道、微型测温元件以及微型发热元件集成在同一张单晶硅片上的设计和制作方法,同时讨论了由掺磷多晶硅制成的测温元件和发热元件的电阻温度特性,并给出微型测温元件的电流/温度曲线,以及...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板.利用lift-off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 在超精密磁悬浮工作台中,作为衔铁被悬浮的工作台,如果可以不采用硅钢片而直接使用实心铁磁材料,则可以大大简化加工工艺,并提高工作台的刚度,但实心铁磁材料的电涡流效应对工作台性能的影响需要由实验...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转...
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14. 基于MEMS技术的射频移相器刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法,该方法可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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