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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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总被引数（次）
19905
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  • 1. 新型彩色等离子体放电单元放电特性的三维模拟
    作者： 屠彦 张雄 杨兰兰 王保平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  321-325
    摘要： 用三维数值模拟的方法,研究了新型彩色等离子体平板显示器结构--槽型彩色等离子体平板显示器放电单元的放电特性.给出了不同时刻放电单元中电位分布及电子和其它主要粒子的浓度在三维空间的分布情况.比...
  • 2. 电涡流法检测罐头真空度的探头研制和仪器智能化
    作者： 干蜀毅 朱武 王先路 陈长琦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  326-328,337
    摘要： 本文比较全面、系统地介绍了一种食品罐头真空度的无损检测方法.在经典电涡流理论的基础上,通过对罐盖在大气压差作用下受力变形的分析,以罐盖变形量为中间变量,在罐内真空度和检测所用的振荡电路频率间...
  • 3. 共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
    作者： 刘阳 曾葆青 杨中海 杨崇峰 殷吉昊 钱尚介
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  329-332
    摘要： 本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电...
  • 4. 横向巨磁阻抗效应中磁导率张量的理论研究
    作者： 徐祖耀 董承远 陈世朴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  333-337
    摘要： 建立了比较完善的二维铁磁体在横向巨磁阻抗(GMI)效应中的磁化模型,采用将静态磁化过程和动态磁化过程分开计算的方法,同时考虑畴壁移动和磁畴转动两种磁化机制的影响,推导出比较完善的用于二维铁磁...
  • 5. 电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响
    作者： 任兆杏 徐金洲 梁荣庆 程黎放 童惠君
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  338-342,356
    摘要： 本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl*紫外(308nm)辐射的影响进行了实验研究.结果表明,UV辐射随电压幅度的增加而增强,但效率下降;提高频率,增加了放...
  • 6. 有限元法在42英寸多枪彩色显像管玻壳设计中的应用
    作者： 朱宏擎 王海滨
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  343-348
    摘要： 由于多电子枪显象管玻壳是一个变厚度组合壳体,很难用板壳经典理论进行求解,所以在设计九电子枪彩管玻壳时用有限元方法预先知道该玻壳的应力分布.通过修改设计参数,使九电子枪彩管玻壳能满足强度要求....
  • 7. β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜的电子显微及X射线衍射研究
    作者： 李晓娜 聂冬 董闯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  349-356
    摘要： 本文利用X射线衍射和透射电子显微镜对离子注入合成的β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜进行了研究.对掺杂C前后样品的对比研究表明,选择C作为掺杂元素,能够得到界面平直、厚度均一的高质量...
  • 8. 薄膜场发射阴极中纳米线密度的理论优化
    作者： 张耿民 赵晓雪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  357-359,365
    摘要： 现在人们正在研究各种纳米线薄膜,因为它们很有可能成为新一代的场发射阴极而被应用于平面显示器等器件中.研究表明,除了纳米线的物理特性,薄膜的场发射特性也强烈地依赖于纳米线阵列的几何构造.一方面...
  • 9. MoS2基板上外延生长C60薄膜的分子动力学模拟
    作者： 乌明奇 陈荣新 顾昌鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  360-365
    摘要： 外延生长异质薄膜通常要求材料之间晶格匹配,然而利用范德瓦尔斯作用外延生长时,晶格匹配要求显著降低.实验上已经得出了在MoS2基板上外延生长C60薄膜的结果,本文用分子动力学计算机模拟方法对M...
  • 10. 系统级模拟的MEMS器件宏模型
    作者： 戎华 李伟华 黄庆安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  366-371
    摘要： MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型,该宏模型要能与电路模拟软件相连接,再用电路模拟软件进行系统级模拟.因此,关键是如何建立能满足此...
  • 11. 电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性
    作者： 温晓辉 詹如娟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  372-375
    摘要： 在电子回旋共振(ECR)等离子体装置中,使用Ar气,N2气,H2气和普通空气放电,对聚四氟乙烯(PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能.详细研究了在不同的放电气压,微波功率,处理时间...
  • 12. 利用脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量
    作者： 张彤 杨学谦 毛福明 胡安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  376-378
    摘要： 本文介绍脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量方法的原理,同时给出该法进行电子诱导脱附阈值能量测量的实验及结果.与传统的直流电子探束测量电子诱导脱附阈值能量的方法相比,使得测量设备简化的同...
  • 13. 射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究
    作者： 刘正义 刘铁林 欧阳光胜 邱万奇 陈灵 黄元盛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  379-381
    摘要： 用自行设计的RF-PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积)设备沉积类金刚石膜,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析.表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高...
  • 14. 表面电晕预电离与火花预电离之比较
    作者： 任德明 刘逢梅 曲彦臣 胡孝勇 赵景山
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  382-384
    摘要： 本文报道了表面电晕预电离与火花预电离的比较结果.针式火花预电离源利用热电弧发出强烈的紫外光,其发射光谱范围从可见光连续延伸到紫外.表面电晕预电离源,通过介质极化发射电子,在预电离电路中产生电...
  • 15. 微波ECR等离子体刻蚀系统
    作者： 吴振宇 徐新艳 李跃进 杨银堂 汪家友
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  385-388
    摘要： 研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统.该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波,由Nd-Fe-B永磁磁钢形成高强磁场,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积、均匀、高...
  • 16. 微光像增强器信噪比测试技术研究
    作者： 刘磊 常本康 童默颖 詹启海 钱芸生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  389-391
    摘要： 对一台进口的微光像增强器信噪比(SNR)测试仪进行了改造,重新研制和设计了测试仪的信号处理模块、计算机系统和测试软件,采用硬件滤波、软件数字滤波和快速傅立叶变换(FFT)相结合的方法实现了像...
  • 17. 钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究
    作者： 周团团 孙嵩泉 胡焕林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  392-394
    摘要： 本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备.膜系设计中,运用反射率图解法以获得满意的光学性能;与传统的热蒸发镀膜工艺相比,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技...
  • 18. NbN沉积膜的抗腐蚀特性研究
    作者： 宋教花 张涛 李永良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  395-398
    摘要： 利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜,用XPS,XRD和SEM对膜层进行测量和分析,结果表明,沉积膜为δ-NbN,沉积膜的质量与样品的衬底温度有关,衬底温度越...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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