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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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年度刊次

1. 反应磁控溅射沉积SiOx薄膜制备镶嵌在二氧化硅介质中纳米晶硅不可行性研究

作者：夏锡全方应翠朱仁胜朱武汪洪波王旭迪陈长琦

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 461-464

摘要：用射频磁控溅射法在纯氩气或氩气/氧气混合气体中溅射纯硅靶制备SiOx(x＜2)薄膜.X射线光电子谱(XPS)分析证实,射频功率对x值起决定作用.当射频功率低时,所制备的薄膜是化学计量比的Si...
2. 高Xe混合气体对荫罩式等离子体显示器性能的影响

作者：况亚伟崔渊朱笛李青

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 465-469

摘要：本文以提高荫罩式等离子体显示器(SM-PDP)的发光效率为目标,以7"小屏为实验平台,采用实验测试的方法研究了提高Xe浓度对着火电压、静态margin、单脉冲亮度和发光效率的影响.结果表明,...
3. 强磁场下真空蒸发Zn薄膜晶粒细化研究

作者：任忠鸣任树洋任维丽操光辉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 470-473

摘要：分别在1T,2T和3T强磁场下采用真空蒸发沉积制备了三种相同厚度的Zn薄膜,并和无磁场下制备的薄膜进行了对比研究.SEM对薄膜表面形貌研究发现,施加磁场制备的Zn薄膜表面晶粒要比无磁场条件下...
4. 电磁阴极磁场分布对磁控溅射系统伏安特性的影响

作者：孙国斌弥谦惠迎雪樊慧庆王稳奇

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 474-478

摘要：本文设计了一种新型圆形平面阴极磁控溅射源.该源具有独特的三极线圈结构,改变各线圈励磁电流可调节靶面磁场强度的大小和分布.通过对系统气体放电伏安特性随各线圈励磁电流大小变化规律的分析,以及对距...
5. DBD-PECVD法制备CN薄膜的结构及性能研究

作者：刘东平刘艳红张莲莲牛金海

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 479-483

摘要：使用自行设计的真空系统,采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法,分别以CH4/N2、C2H2/N2、C2H4/N2混合气体作为反应气体,在单晶硅片上成功制备了CN薄...
6. AlN在α-Al2O3(0001)表面吸附过程的理论研究

作者：余毅冯玉芳杨春黄平

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 484-488

摘要：采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位.计算...
7. 退火温度对(La2/3Ba1/3)(Cu0.15Mn0.85)O3薄膜微结构和磁性质的影响

作者：刘建吕笑公玉英董苏雅拉图金永军

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 489-493

摘要：利用射频磁控溅射法结合后期退火处理,在Si(100)基片上制备了一系列的(La2/3Ba1/3)(Cu0.15Mn0.85)O3(LBCMO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描隧道显微镜(...
8. 氢化微晶硅薄膜的两因素优化及高速沉积

作者：卢景霄申陈海郭学军陈永生

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 494-498

摘要：采用甚高频等离子体辅助化学气相沉积技术(VHF-PECVD)分别对薄膜沉积参数进行了功率密度-沉积气压和硅烷浓度-气体总流量两因素优化.主要研究沉积参数对薄膜沉积速率和结晶状况的影响,结果表...
9. 百兆瓦级高功率速调管电子光学系统的研究

作者：张瑞李庆生王勇谢敬新

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 499-503

摘要：基于强流电子光学理论确定了S波段100MW速调管电子枪初始参数,对电子枪电极进行优化,获得了导流系数2.0μA·V-3/2、枪内场强低于22kV·mm-1、层流性良好的电子枪.设计了均匀磁场...
10. 不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究

作者：宁兆元辛煜高璇黄晓江

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 504-508

摘要：等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质.本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12M...
11. 利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数

作者：林国强袁方园陆文琪

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 509-512

摘要：本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断.双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏.利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行...
12. 行波管阴极热子组件结构的热分析

作者：俞世吉孟鸣凤徐强徐振英杨丹

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 513-516

摘要：本文分析了不同结构的阴极热子组件与其加热效率的关系.组件的加热效率受阴极支持筒侧面辐射的影响较大,支持筒直径与阴极基底直径相近时,组件加热效率高.并利用ANSYS软件对阴极热子组件进行了热模...
13. 螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟

作者：巴德纯杨乃恒王晓冬金磊钟亮

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 517-521

摘要：为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟.通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,...
14. 超高/极高真空测量发展综述

作者：冯焱卢耀文徐婕成永军李得天赵澜

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 522-530

摘要：本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展.内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术...
15. P型透明导电SnO2薄膜的研究进展

作者：倪佳苗赵修建赵江郑小林

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 531-535

摘要： SnO2薄膜是一种应用广泛的宽禁带半导体材料.近几年来,随着对SnO2的光电性质及其在光电器件方面应用的开发研究,SnO2薄膜成为研究热点之一.制备掺杂的p型SnO2是形成同质p-n结以及实...
16. 沉积温度对高温超导带材YBiO3缓冲层外延生长的影响

作者：岳美琼滕元成魏贤华黄俊俊

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 536-540

摘要：采用脉冲激光沉积(PLD)方法,在LaAlO3(001)基片上研究了沉积温度对用作高温超导带材缓冲层YBiO3结晶的影响.结果表明,随着沉积温度的升高,YBiO3缓冲层结晶质量提高,取向趋于...
17. 非平衡磁控溅射制备氮化硅薄膜及其性能研究

作者：冷永祥孙鸿张琦景凤娟杨苹黄楠

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 541-545

摘要：采用非平衡磁控溅射技术,通过改变氮气和氩气分压比P(N2)/P(Ar),在钛合金(Ti6Al4V)表面制备出不同结构及性能的氮化硅薄膜.结果显示,制备的氮化硅薄膜为非晶态结构,随着氮气分压的...
18. 上海光源储存环光子吸收器结构设计与研制

作者：陈丽萍

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 546-551

摘要：上海光源储存环采用分散分布的光子吸收器来吸收全部不用的弯铁同步辐射光(SR)并准直引出实验光束.光子吸收器的结构设计需考虑多种因素,如同步辐射的功率分布、吸收面的功率稀释、吸收体的材料、机械...
19. 绝缘封接粉体造粒颗粒特性的研究

作者：陈培

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 552-555

摘要：采用压力式喷雾干燥法对封接玻璃浆料进行喷雾干燥造粒,研究了喷雾干燥的压力、喷嘴孔径大小、浆料的固液比和粘结剂的含量与造粒后粉体颗粒粒径分布的关系.研究表明,浆料固体含量越高,粘度越大,平均粒...
20. 远程氩气等离子体引发接枝丙烯酸改性聚丙烯微孔膜的研究

作者：兰彦孟月东张素贞程诚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 556-561

摘要：采用远程氩气等离子体对聚丙烯(PP)微孔膜进行表面亲水处理,并引发接枝丙烯酸单体实现永久亲水改性.研究了放电参数及样品位置对于亲水性及接枝率的影响,并运用扫描电镜(SEM)、红外光谱(FTI...
21. 直接在金属基片上生长超长宏观定向纳米碳纤维

作者：田时开郝邦元

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 562-564

摘要：在水辅助氧化作用下,我们直接在金属镍片上生长出宏观上定向生长的纳米碳纤维,其长度达到5mm,经扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察其为非晶态的螺旋状纳米碳纤维,直径在100nm-200nm,测...
22. 封闭磁场非平衡磁控溅射偏压对CrN镀层摩擦学性能影响

作者：于磊孙海林徐雪波鲍明东

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 565-569

摘要：采用Teer UDP 650型闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备沉积CrN镀层,通过调变偏压获得不同结构和性能的CrN镀层.试验用划痕法测定了镀层结合强度、用球-盘方法测定了镀层摩擦系数和比磨损...
23. 沉积在液体基底上银薄膜的表面形貌及内应力释放机制

作者：余森江张永炬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 570-575

摘要：利用直流磁控溅射方法在液体(硅油)基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了该薄膜的形成机理、表面形貌演化规律及内应力释放机制.实验发现银薄膜的形成过程基本可分为准圆形团...
24. 纳米TiO2/ITO复合薄膜的光诱导亲水性研究

作者：姚宁张兵临赵君娜

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 576-579

摘要：本文采用直流反应磁控溅射法及能量过滤磁控溅射技术,以玻璃为衬底制备了纳米TiO2薄膜和纳米TiO2/ITO复合薄膜.利用X射线衍射(XRD) 、扫描电镜(SEM) 、紫外-可见分光光度计(U...
25. 《真空科学与技术学报》征稿说明

作者：

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2009年5期

页码: 580

摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室