不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究

• 作者: 宁兆元 辛煜 高璇 黄晓江
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微感应耦合等离子体 朗谬尔探针 发射光谱 离子密度 电子温度
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 504-508
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 3023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.05.10

摘要

等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质.本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz.朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降.利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晓江	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	5	18	3.0	4.0
2	宁兆元	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	70	528	12.0	18.0
3	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	38	176	8.0	10.0
4	高璇	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	1	1	1.0	1.0