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文献信息
篇名 离子注入靶片的补偿自退火
来源期刊 新疆工学院科研论文选编 学科 工学
关键词 半导体 离子注入 靶片 退火 补偿
年,卷(期) 1989,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 124-126
页数 3页 分类号 TN305.3
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半导体
离子注入
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