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N/Ti原子比不同的TiNx膜的性质
N/Ti原子比不同的TiNx膜的性质
作者:
廖燕南
西田典秀
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
TiNx膜
N/Ti原子比
RF离子镀膜法
摘要:
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文献信息
篇名
N/Ti原子比不同的TiNx膜的性质
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
TiNx膜
N/Ti原子比
RF离子镀膜法
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
28-33
页数
6页
分类号
TG174.44
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TiNx膜
N/Ti原子比
RF离子镀膜法
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主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
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出版地:
成都市第109信箱207分箱
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创刊时间:
语种:
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395
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