化学气相沉积不同碳氮比MT-Ti(C,N)涂层

• 作者: 邹伶俐
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 中温涂层 柱状晶 结合力 纳米硬度
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TG501|TG74
• 字数: 2908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.4.0011

摘要

采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同碳氮比的MT-Ti(C,N)涂层,通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、能谱仪(EDS)和纳米硬度仪、划痕仪分别对其微观组织和机械性能进行分析.研究结果表明:碳源对MT-Ti(C,N)涂层中的碳氮比起着至关重要的作用;其中,在现有单一的乙腈(CH3CN)中温化学涂层反应体系中,引入C2H4可以有效提高MT-Ti(C,N)涂层的碳氮比,且随着碳氮比的增大,MT-Ti(C,N)涂层的晶粒得到明显细化.与此相对应的纳米硬度、弹性模量和结合力也随C/N比发生显著变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹伶俐		13	84	6.0	8.0