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真空镀膜技术的现状及发展
真空镀膜技术
物理气相沉积法
真空蒸发
溅射镀膜
离子镀膜
真空镀膜机模块化设计系统研究与应用
真空镀膜机
模块化设计
专家知识库
案例知识库
用单片机控制卷绕式真空镀膜机
镀膜机
单片机
继电控制
基于真空镀膜技术的薄膜热传感器实验
测量
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传热
燃料电池
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 钨丝加热真空镀膜在MOSIC中的应用
来源期刊 上海半导体 学科 工学
关键词 MOS IC 真空镀膜 钨丝 加热 应用
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 40-44
页数 5页 分类号 TN432.058
字数 语种
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
MOS
IC
真空镀膜
钨丝
加热
应用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
总被引数(次)
0
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