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微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
微电子机械加工技术
氮化硅梁
谐振式压力传感器
基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计
硅谐振微传感器
频率扫描
数字信号处理
FPGA
基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现
硅谐振压力传感器
大气数据系统
计算机
多参数科氏力谐振传感器测量数学模型分析
多参数测量
科氏力
谐振传感器
数学模型
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅谐振梁力传感器
来源期刊 国外计量 学科 工学
关键词 电子天平 传感器 硅谐振 谐振梁
年,卷(期) 1990,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 32-33
页数 2页 分类号 TH715.116
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
电子天平
传感器
硅谐振
谐振梁
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外计量
双月刊
1002-5642
11-1987/T
北京市安外和平里11区7号国家技术监督局
出版文献量(篇)
602
总下载数(次)
1
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0
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