国外微型机械述评

周毓平; 高晓平

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国外微型机械述评

作者：

周毓平高晓平

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微型机械

微电子学

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文献信息

篇名	国外微型机械述评
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	微型机械微电子学
年，卷（期）	1991,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	1-9
页数	9页	分类号	TN4
字数		语种	中文
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