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等离子体辅助汽相沉积过程的关键问题
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文献信息
| 篇名 | 等离子体辅助汽相沉积过程的关键问题 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 等离子体应用 CVD 沉积 | ||
| 年，卷（期） | gwhjbydlztyy_1991,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 66-78 | |
| 页数 | 13页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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