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摘要:
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基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统
磁控溅射
真空镀膜
串口通信
LabVIEW
木材磁控溅射镀膜金属试验
金属木材
磁控溅射
电磁屏蔽效能
采用磁控溅射镀膜技术改善封隔器防腐性能
封隔器
磁控溅射
耐蚀性能
防腐
镀镆
用单片机控制卷绕式真空镀膜机
镀膜机
单片机
继电控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 同轴磁控溅射镀膜机的改装技术
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 磁控溅射 薄膜 同轴磁控 镀膜机
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 153-156
页数 4页 分类号 TN305.8
字数 语种
DOI
五维指标
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
薄膜
同轴磁控
镀膜机
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
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