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真空镀膜机模块化设计系统研究与应用
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文献信息
篇名 真空镀膜机石墨蒸发器的研制与应用
来源期刊 电碳 学科 工学
关键词 石墨 蒸发器 真空 镀膜机 镀膜
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-11
页数 3页 分类号 TQ051.4
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节点文献
石墨
蒸发器
真空
镀膜机
镀膜
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期刊影响力
电碳
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四川自贡1003信箱
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444
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