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8.0nm X射线激光反射镜Mo/B4C多层膜制备及其特性
软X射线
Mo/B4C多层膜
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单发实验测量软X射线多层膜反射镜反射特性
Mo/Si多层膜反射镜
反射率
软X射线
激光等离子体
软X射线多层膜反射镜的反射率测量
X光多层膜镜
反射率
激光等离子体
13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量
Mo/Si多层膜反射镜
反射率测量
表面粗糙度
极紫外光源
激光等离子体光源
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 正入射软X光Ta/Si多层膜反射镜
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 反射镜 多层膜 反射率 X光 工艺
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 112-115
页数 4页 分类号 TN305.8
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研究主题发展历程
节点文献
反射镜
多层膜
反射率
X光
工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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1
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