用HCD法制备TiN厚膜

陈长川

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用HCD法制备TiN厚膜

作者：

陈长川

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氮化钛

薄膜

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刀具

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文献信息

篇名	用HCD法制备TiN厚膜
来源期刊	四川真空	学科	工学
关键词	氮化钛薄膜制备刀具镀层
年，卷（期）	1992,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	5-8
页数	4页	分类号	TG711
字数		语种
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