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冷压印光刻中高分辨率抗蚀剂的研究
集成电路
抗蚀剂
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优化
微压印中抗蚀剂填充行为研究
微压印
抗蚀剂填充
可视化研究
数值模拟
抗空蚀金属材料的研究进展
空蚀机理
抗空蚀性
金属材料
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 光学光刻和相应的抗蚀剂的进展
来源期刊 化工科技动态 学科 工学
关键词 光学 光刻 抗蚀剂
年,卷(期) 1992,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-3
页数 3页 分类号 TN405.98
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研究主题发展历程
节点文献
光学
光刻
抗蚀剂
研究起点
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
化工科技动态
月刊
11-2611/TQ
化工部科技情报所北京和平里七区16楼
出版文献量(篇)
744
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3
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