论文降重
免费查重
推荐文章
固相反应法合成TiSi2及反应机理研究
TiSi2
反应机理
固相反应
反应模型
界面氧化硅在TiSi2形成过程中的影响
Ti膜的沉积
阻值
界面氧化硅TiSi2
Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究
界面扩散
ZrN2
俄歇电子能谱
线形分析
SiO2颗粒尺寸对Al与SiO2反应动力学的影响
Al-SiO2反应
颗粒尺寸
反应动力学
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1993(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅化钛
薄膜
界面
氧化层
固相反应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
总下载数（次）
1
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
