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二次锂离子电池
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文献信息
篇名 半导体薄膜中杂质的二次离子质谱分析
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 半导体薄膜 二次离子质谱 杂质
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 75-79
页数 5页 分类号 TN304.055
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研究主题发展历程
节点文献
半导体薄膜
二次离子质谱
杂质
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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