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光电子集成电路制造的新方法──半导体薄膜的移植
光电子集成电路制造的新方法──半导体薄膜的移植
作者:
刘同喜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光电集成电路
制造
半导体薄膜
摘要:
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文献信息
篇名
光电子集成电路制造的新方法──半导体薄膜的移植
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
光电集成电路
制造
半导体薄膜
年,卷(期)
1993,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
60-64
页数
5页
分类号
TN491
字数
语种
DOI
五维指标
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光电集成电路
制造
半导体薄膜
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研究来源
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
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