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文献信息
篇名 薄膜应力分析中的应力梯度的影响
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 物理学
关键词 薄膜 应力分析 应力梯度
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 173-178
页数 6页 分类号 O484.5
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薄膜
应力分析
应力梯度
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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