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摘要:
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离子注入碳对铀表面初始氧化行为影响的研究
离子注入
铀表面
初始氧化
俄歇电子能谱
Co离子注入ITO薄膜的磁性研究
ITO薄膜
离子注入
室温铁磁性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用高剂量离子注入法在硅中制备埋置的氧化物和硅化物
来源期刊 国外科技资料 学科 工学
关键词 离子注入 氧化物 硅化物
年,卷(期) 1993,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 66-73
页数 8页 分类号 TN305.3
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入
氧化物
硅化物
研究起点
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
国外核武器研究
季刊
四川省绵阳市919信箱803分箱
出版文献量(篇)
416
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