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文献信息
| 篇名 | 193nm波长光刻用的小视场步进器 | ||
| 来源期刊 | 光机电世界 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 光刻 步进器 集成电路 | ||
| 年，卷（期） | gjdsj_1993,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 1-3 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN405.7 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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光刻
步进器
集成电路
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期刊影响力
光机电世界
主办单位：
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
CN 22-1142/TH
开本：
出版地：
长春市1024信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
195
总下载数（次）
1
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