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双层辉光离子渗金属
等离子体
溅射
蒙特卡罗
计算机模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 离子轰击对材料性质影响的基本研究用的具有不同靶室的…
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 工学
关键词 离子注入 材料改性 注入器
年,卷(期) 1993,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 83-88
页数 6页 分类号 TG174.44
字数 语种 中文
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节点文献
离子注入
材料改性
注入器
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期刊影响力
国外核聚变与等离子体应用
双月刊
出版文献量(篇)
544
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