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摘要:
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离子束辅助沉积
离子注入
腐蚀
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 蒸发与离子束溅射沉积Ni/Si膜的XRD和XPS研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 蒸发 离子束溅射 硅化物 镍膜 硅膜
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 165-170
页数 6页 分类号 TN305.92
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研究主题发展历程
节点文献
蒸发
离子束溅射
硅化物
镍膜
硅膜
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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