ZnS薄膜的溅射沉积及其XPS研究

• 作者: 周咏东 方家熊 李言谨 汤定元 龚海梅
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnS 离子束溅射沉积 XPS HgCdTe 表面抗反射膜
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1127-1130
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.031

摘要

用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了ZnS的低温沉积．用 X射线光电子能谱(XPS)对上述ZnS薄膜以及热蒸发ZnS薄膜中的Zn、S元素的化学环境进行了对比实验研究．实验表明：离子束溅射沉积ZnS薄膜具有很好的组份均匀性，未探测到元素Zn、S的沉积．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚海梅	中国科学院上海技术物理研究所	69	451	10.0	18.0
2	汤定元	中国科学院上海技术物理研究所	16	70	4.0	7.0
3	李言谨	中国科学院上海技术物理研究所	24	187	8.0	13.0
4	方家熊	中国科学院上海技术物理研究所	39	184	7.0	11.0
5	周咏东	苏州大学物理系	8	40	3.0	6.0