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研究主题发展历程
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气敏薄膜
电子束
蒸发
二氧化硅
研究起点
研究来源
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研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
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