热处理引进Au／NiCr薄膜系统表面状态变化的SEM／SAM研究

• 作者: 杨得全 蒋能
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金薄膜 热处理 SEM SAM 导电材料
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TM24

摘要

采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）技术，对氧化铝基底上用磁控溅射法沉积的Ａｕ／ＮｉＣｒ薄膜系统分别经３５０℃，２０ｍｉｎ真空和大气环境下热处理后样品表面状态的变化进行了研究。