多晶硅X型压力传感器

• 作者: 田雷 齐虹
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 X型 压力传感器
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.12

摘要

本文介绍了多晶硅Ｘ型压力传感器的设计和制作工艺。对依据理论模型计算的Ｘ型压力传感器的灵敏度和实测值进行了比较，两者均吻合较好，对于经受住２．５倍过载的０￣６ＭＰａ的多晶硅Ｘ型压力传感器，灵敏度约为０．７ｍｖ／ｖ／ＭＰａ，线性度优于０．５％ＦＳ。