高压功率晶体管的纵向结构设计

• 作者: 孔德平 张本袁
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 功率晶体管 结构 设计
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN323.402

摘要

本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计，可以为器件的工艺设计提供依据，以及选择实施的工艺方案。