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SF6等离子体蚀刻p和n型硅引起的电子缺陷
SF6等离子体蚀刻p和n型硅引起的电子缺陷
作者:
松山
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等离子体蚀刻
硅
P型
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篇名
SF6等离子体蚀刻p和n型硅引起的电子缺陷
来源期刊
等离子体应用技术快报
学科
工学
关键词
等离子体蚀刻
硅
P型
N型
电子缺陷
年,卷(期)
1995,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
11-12
页数
2页
分类号
TN405.982
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等离子体应用技术快报
主办单位:
核工业西南物理研究院
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月刊
ISSN:
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出版地:
四川省成都市432信箱
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创刊时间:
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