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穿透深度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 利用开槽天线微波源的ECR等离子体源
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 电子回旋共振 等离子体源 微波加热
年,卷(期) 1996,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-10
页数 2页 分类号 O531
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节点文献
电子回旋共振
等离子体源
微波加热
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