电阻激光刻槽机的实时控制系统

• 作者: 张励 杨兴国 杨朱 谢志平
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 阻值精度 电桥平衡 光电耦合
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2147字
• 语种: 中文

摘要

以"JJK激光自动刻槽机"的控制和监测系统为实例,扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张励		3	2	1.0	1.0
2	杨兴国		3	2	1.0	1.0
3	谢志平		3	2	1.0	1.0
4	杨朱		1	0	0.0	0.0