用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布

• 作者: 徐洮 赵家政 马良
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 0
• 页数: 1页
• 分类号: TQ32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.1998.05.015

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马良	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室	14	87	3.0	9.0
2	徐洮	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室	75	815	16.0	23.0
3	赵家政	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室	10	15	2.0	3.0