测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术

• 作者: 徐得名 王守军 胡乐乐
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 准光腔 介质测量 多层薄膜材料 变腔长法
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 30-33
• 分类号: TN0
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1998.05.007

摘要

本文提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术.根据双层介质的测量原理,把多层薄膜叠加起来并压上一块介电特性已知的平板样品以消除空气间隙及平整卷曲材料.推导了双层介质的正确理论计算公式,更正了以往文献中的失误之处.采用简易的变腔长法,对几种薄膜材料进行了测量,取得了满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐得名	上海大学通信工程系	40	394	11.0	18.0
2	王守军	上海大学通信工程系	1	7	1.0	1.0
3	胡乐乐	上海大学通信工程系	1	7	1.0	1.0