梯度多层BST薄膜介电性能研究

• 作者: 廖家轩 张慧 田忠 许江
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 成分梯度 综述 多层膜 钛酸锶钡薄膜 介电性能 微波调制器件
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TG142.2
• 字数: 1983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.10.003

摘要

成分梯度多层钛酸锶钡薄膜具有较好的综合介电性能,包括适中的介电常数、高的介电调谐率、低的介质损耗及低的介电温度系数等,日益成为微波调制器件如移相器、滤波器、谐振器等的重要候选薄膜材料.就国内外近年来取得的重要成果进行了综述,对今后成分梯度多层BST薄膜的研究前景及方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田忠	电子科技大学电子科学技术研究院	37	160	7.0	11.0
2	张慧		12	24	3.0	4.0
4	廖家轩	电子科技大学电子科学技术研究院	22	106	7.0	8.0
7	许江	电子科技大学电子科学技术研究院	3	8	2.0	2.0