Y掺杂浓度梯度对BST薄膜结构及介电性能的影响

• 作者: 廖家轩 张宝 徐从玉 王滨
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺杂浓度梯度 钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 487-490
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2375字
• 语种: 中文

摘要

用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备6层钇(Y)掺杂浓度分别为1％/1.1％/1.2％/1.3％/1.4％/1.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-1.5YBST)和掺杂浓度分别为1％/1.3％/1.6％/1.9％/2.2％/2.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-2.5YBST),研究掺杂浓度梯度对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,两薄膜主要沿(110)晶面生长,为立方钙钛矿结构,比6层Y掺杂浓度均为1％的BST薄膜(YBST)的衍射峰强度及晶化减弱,但掺杂浓度梯度较大的1-2.5YBST对应的衍射强度和晶化较强.原子力显微镜(AFM)表明,1-2.5YBST具有更光滑的形貌.两薄膜比YBST具有高的电容、低的介电损耗、高的调谐率,而1-2.5YBST具有更优异的综合介电性能:零偏压下的电容为17.45 pF(介电常数127)、介电损耗为0.82％及最大调谐率为34.6％、优质因子为42.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王滨	电子科技大学电子科学技术研究院	3	8	2.0	2.0
2	张宝	电子科技大学电子科学技术研究院	1	1	1.0	1.0
3	廖家轩	电子科技大学电子科学技术研究院	22	106	7.0	8.0
4	徐从玉	电子科技大学电子科学技术研究院	1	1	1.0	1.0