梯度掺杂与分层退火对AZO薄膜结构与性能的影响

• 作者: 叶楠 陈长春
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 梯度掺杂 分层退火 sol-gel法
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试剂
• 页码范围: 27-30
• 分类号: TN304
• 字数: 3341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.10.008

摘要

用sol-gel法在玻璃基片上分别制备了不同Al浓度掺杂和Al梯度掺杂的掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并研究了分层退火和一次性退火对薄膜结构和性能的影响.结果表明:梯度掺杂与分层退火都能促进薄膜的(002)择优取向.Al掺杂摩尔分数为1.5％的薄膜和经分层退火处理的Al梯度掺杂的薄膜在395 nm处均有很强的紫外发射峰,但经一次性退火处理的Al梯度掺杂的薄膜的紫外发射峰却较弱.所有薄膜在可见光范围内的透光率都在90％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶楠	南京工业大学材料科学与工程学院	2	2	1.0	1.0
2	陈长春	南京工业大学材料科学与工程学院	11	24	3.0	4.0