压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究

• 作者: 孙涛 董申 谭久彬
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密定位 微位移 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 电容传感器
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 493-497
• 分类号: TH703.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.1999.06.018

摘要

对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线.经测试,通过闭环控制的定位重复性精度在-15 nm～+15 nm以内,采取这些关键技术措施是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学计算机与电气工程学院	140	2284	28.0	42.0
2	董申	哈尔滨工业大学机电学院	232	4378	35.0	50.0
3	孙涛	哈尔滨工业大学机电学院	124	1024	17.0	23.0