硅单晶及衬底的热处理特性

• 作者: BЗ.,K 张忆延
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 硅单晶 衬底 热处理特性
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.053

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	BЗ.,K		1	0	0.0	0.0
2	张忆延		1	0	0.0	0.0