质子轰击GaP电光采样测量

• 作者: 张大明 李德辉 王艳双 田小建 衣茂斌
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 质子轰击 GaP共面波导 电光采样
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 26-30
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.1999.01.005

摘要

在n-GaP衬底上制作共面波导(CPW),用质子轰击的方法减小共面波导的漏电损失,用倍频扫描移相电光采样技术测量了1～5GHz微波信号.质子轰击后GaP CPW的电阻增大了4个量级,在2.30GHz微波信号时,质子轰击GaP CPW 电光采样测量获得了10mV/Hz的电压灵敏度.