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多弧离子镀
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制
来源期刊 真空科学与技术学报 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 470
页数 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.1999.06.014
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期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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4084
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3
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19905
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