薄膜压电性能的测量方法

• 作者: 包定华 姚熹 张良莹
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电薄膜 压电性能 测量方法
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 18-22
• 分类号: TQ17
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.1999.03.005

摘要

压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视.薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同.本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点.对已有的测量结果进行了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张良莹	西安交通大学电子材料与器件研究所	59	646	15.0	22.0
2	姚熹	西安交通大学电子材料与器件研究所	172	1611	18.0	30.0
3	包定华	西安交通大学电子材料与器件研究所	4	50	4.0	4.0