超光滑表面无损检测轮廓仪

• 作者: 卓永模 杨甬英
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉术 轮廓仪 粗糙度 表面轮廓 纳米测试
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 干涉量度
• 页码范围: 371-374
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪,无需标准参考面;利用双焦干涉作非接触无损检测;利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音;计算机控制测量,即时给出表面粗糙度参数,与WYKO比对,结果吻合.仪器特别适合于均方根值Rq为纳米及亚纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试.其横向分辨率为1μm,纵向分辨率为0.1nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卓永模	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	19	118	6.0	10.0
2	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0