磨削方式对单晶硅表面磨削温度的影响

• 作者: 于爱兵 徐燕申 林彬 胡军
• 来源期刊: 天津大学学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 表面磨削温度 平形砂轮 杯形砂轮 单晶硅
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 85-89
• 页数: 5页
• 分类号: TG580.1
• 字数: 252字
• 语种: 英文

摘要

研究金刚石砂轮磨削单晶硅片时的表面磨削温度.针对平形砂轮和杯形砂轮两种不同平面磨削方式所产生的表面磨削温度特点进行了比较分析.对砂轮粒度和磨削深度对这两种平面磨削方式的表面磨削温度的影响进行了试验研究,得到了一些有意义的试验结果和结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐燕申	天津大学机械工程学院	183	4162	30.0	57.0
2	于爱兵	天津大学机械工程学院	69	843	17.0	23.0
3	林彬	天津大学机械工程学院	93	970	18.0	28.0
4	胡军	天津大学机械工程学院	16	113	7.0	10.0