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应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究
应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究
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摘要：
微机电系统(MEMS)将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑.该文论述了基于MEMS引信固态安全系统的概念及作用原理;针对可应用于引信安全系统的硅微压阻式加速度传感器,用有限元法计算了不同厚度悬臂梁结构在10 000g加速度作用下的应力分布、固有频率,设计了力敏电阻电桥结构,并计算了传感器的灵敏度.最后介绍了压阻式悬臂梁结构的加速度传感器制作工艺.
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文献信息
| 篇名 | 应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究 | ||
| 来源期刊 | 南京理工大学学报(自然科学版) | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 引信,保险与解除保险装置,加速度传感器 微机电系统 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 277-280 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TJ432.2|TH824.4 |
| 字数 | 1844字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1005-9830.2000.03.021 | ||
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研究主题发展历程
节点文献
引信,保险与解除保险装置,加速度传感器
微机电系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
南京理工大学学报(自然科学版)
主办单位：
南京理工大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1005-9830
CN：
32-1397/N
开本：
出版地：
南京孝陵卫200号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
chi
出版文献量（篇）
3510
总下载数（次）
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