应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究

• 作者: 席占稳
• 来源期刊: 南京理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 引信,保险与解除保险装置,加速度传感器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: TJ432.2|TH824.4
• 字数: 1844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9830.2000.03.021

摘要

微机电系统(MEMS)将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑.该文论述了基于MEMS引信固态安全系统的概念及作用原理;针对可应用于引信安全系统的硅微压阻式加速度传感器,用有限元法计算了不同厚度悬臂梁结构在10 000g加速度作用下的应力分布、固有频率,设计了力敏电阻电桥结构,并计算了传感器的灵敏度.最后介绍了压阻式悬臂梁结构的加速度传感器制作工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席占稳	南京理工大学科技处	39	202	8.0	13.0