微型光机电系统及其制作

• 作者: 于水 李庆祥 白立芬 薛实福
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微型光机电系统 制作 集成电路工艺
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 1-7,12
• 页数: 8页
• 分类号: TN405
• 字数: 3225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.03.001

摘要

微型光机电系统(MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展.阐述了实现MOEMS的2种技术手段:光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统.最后对其的发展作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器与机械学系	23	478	10.0	21.0
3	于水	清华大学精密仪器与机械学系	11	184	5.0	11.0
4	薛实福	清华大学精密仪器与机械学系	8	44	4.0	6.0