用涂敷法制备透明导电薄膜的效果

• 作者: 朱玉芹 西出利一
• 来源期刊: 锡业科技
• 学科: 工学
• 关键词: 透明异电薄膜 制备 涂敷法 真空成膜法 ITO
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 60-67
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.21

摘要

用涂敷法制备透明导电薄膜，具有成本低和可以大面积化的优点。本文对于用涂敷法制得的ＩＴＯ（Ｉｎ２Ｏ３：Ｓｎ）和ＡＴＯ（ＳｎＯ２：Ｓｂ）等透明导电薄膜，叙述了它们的制作方法、结构，导电特性及光学特性。