负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究

• 作者: 廖克俊 王万录 王必本 肖金龙
• 来源期刊: 广西师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 热灯丝CVD 负衬底偏压 金刚石核化
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6600.2000.03.003

摘要

利用扫描电子显微镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果.着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学应用物理系	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学应用物理系	66	513	12.0	19.0
3	王必本	重庆大学应用物理系	15	91	5.0	9.0
4	肖金龙	重庆大学应用物理系	7	21	3.0	4.0